程序执行标准规范

IEST-RP-CC003.3

技木参数表

操控系统性：PLC;

运行软件界面：有颜色7寸触摸显示屏屏，中英对照文转换；

a粒子筛选器：选择德国光度计，需求量1套；

滚简厚度：外厚度430mm*330mm，内筒尺寸规格330mm*330mm；

钻速：10rpm；

耐压步奏

A将湿式球磨机投入干净基本操作面板更加方便基本操作的的位置，干净室的干钻石净度应不降到ISO5级将辊子怎么安装在破碎机上,净化后的室内外环流方面竖直于滚筒设备轴网;

B让破碎机转动。用秒表常规检查滚简的带速，将带速调至10(士0.1)rpm，在数据显示表上记载时速。

注:有关键多测圈数以保持本试验报告标准要求转动速度自动测量误差;

C进行安装自然室内空气抽样系统管，从滚简内抽自然室内空气。抽样系统管应水平线于拖动水平线，抽样系统管和拖动的垅条中有 2.5 cm(1 in.)的空档，监测口距滚筒设备自动化测试5cm。采集口进入到一个滾筒顺时针逆时针中心点11点钟的区域。判别检测氧气取样管渠道和滚轴内部人员的粒子束累积条件。注:空气的监测管出口处应平滑细腻无毛刺现象，以预防轮胎磨损被试衣服;

D在超净窒内邻近滚轴装衣通道处，用a粒子计数法器量测>0.3um的离子浓度值，记为“卫生室氧化还原电位”。用40cm(15.7in.)长的挠性导电塑料制品管将抽样管连接方式到a粒子筛选器上。*在使用导电抽样管，不锈钢管抽样管应跨接。取舍好的管道管件以尽量不要骤缩或骤扩。以便安装筛选器以尽量不要抽样管上长现急弯。

E按ASTMF50的标准设施并使用物体计数法器

F在缩放的滚筒式内取样测量方法顆粒物密度。该密度应不紧急制动洁净间室内设计待测背景图片密度(按B2.5.5a检验的氧浓度)的10%。查背景图案溶度时，选用系统器的比较小孔径档成为操作。注:若飞速转动中的滚简内物体束计数器底于经过多次实验发现是什么洁净车间室物体束氧化还原电位10%,则应在滚筒机匀速直线运动时试过滤(*钻孔大小 0.45 wm)后的带冷空气或带心理压力的离氮气吹扫辊子内外层，吹走可分離的小粒物。被污染的较为严重的时，能致用浸有少量去化合物水或含9%异丙醇去铝离子水溶